解:(1)根據(jù)質(zhì)量守恒定律和化學方程式可得,R的化學式中應含有Si的個數(shù)為:(1-1)÷2=0,應含有O的個數(shù)為:2÷2=1,應含有C的個數(shù)為:2÷2=1.故可判斷R的化學式為:CO;化學方程式為:SiO
2+2C

Si+2CO,是一種單質(zhì)與一種化合物反應生成另一種單質(zhì)和另一種化合物的反應,屬于置換反應;
(2)在H
2還原SiHCl
3過程中若混入O
2,還原出的Si會被再次氧化,得不到純凈的Si,氫氣與氧氣會發(fā)生反應并放出大量熱量,會引起爆炸.故整個制備過程必須達到無水無氧;
(3)因為H
2還原SiHCl
3得到高純硅和HCl,故可判斷物質(zhì)A為HCl,在生產(chǎn)過程中,從粗硅→SiHCl
3,要用到HCl,使物質(zhì)A得到循環(huán)利用.
故答案為:(1)CO;置換反應;
(2)硅被氧化得不到高純硅,還會引起爆炸;
(3)HCl.
分析:(1)根據(jù)質(zhì)量守恒定律的微觀解釋:化學反應前后原子的種類和數(shù)目不變.可知在化學反應方程式中,反應物和生成物中所含的原子的種類和數(shù)目相同.由此可推斷化學反應方程式中反應物或生成物的化學式;根據(jù)反應各類型的特點判斷;
(2)根據(jù)氫氣與氧氣反應的情況和Si與氧氣反應的情況考慮;
(3)對照流程圖和物質(zhì)A,進行分析即可.
點評:此題主要是考查學生的綜合分析能力,不但要求學生具備有關(guān)物質(zhì)的基礎(chǔ)知識,而且要有實驗操作的經(jīng)歷和分析、解決化學實驗問題的能力.